具体工艺如下:国家公司首先利用氧等离子在1nm厚的高定向热解石墨表面进行离子刻蚀,国家公司当在表面刻蚀出宽20um~2mm、深5um的微槽后,用光刻胶将其粘到玻璃沉底上,再用透明胶带反复撕揭,然后将多余的高定向热解石墨去除并将粘有微片的玻璃沉底放入丙酮溶液中进行超声,最后将单晶硅片放入丙酮溶剂中吗,利用范德华力或毛细管力将单层石墨烯剥落。
本内容为作者独立观点,电网电力不代表材料人网立场。服务1999年进入中国科学院化学研究所工作。
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